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      捷歐路JEOL JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統

      名稱:其他儀器與工具

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      簡介:捷歐路JEOL JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統通過全方位的設計優化,實現更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節能。 捷歐路JEOL JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統標準的設備占地面積為4.9...

      • 產品介紹
      捷歐路JEOL JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統通過全方位的設計優化,實現更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節能。
      捷歐路JEOL JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統標準的設備占地面積為4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往機型占用空間更小,外形更加緊湊美觀。正常工作時的功耗約為3kVA,僅需以往機型耗電量的1/3。具備高分辨率和高速兩種刻寫模式,非常適用于超微細加工以及批量生產。該設備減少了刻寫過程中的無謂耗時,并將掃描頻率提升至業界最高最水準的125MHz (以往機型的1.25~2.5倍),使其具備更高的生產能力。JBX-8100FS系列設有G1(基本版)和G2(全配版)兩種機型。G1機型裝機后也可進行升級,使其支持更高的應用需求。安裝光學顯微鏡(選配)后,在避免光刻膠感光的的同時可對材料上的圖形進行確認。設備還配備了信號塔(標配),實現了視覺范圍內的系統運行狀況監控。采用分辨率為0.6nm的激光干涉儀,對樣品臺位置進行高精度的量測控制。配備了Linux®系統,圖形用戶界面使操作更加簡單,便于初學者使用。數據準備程序支持Linux®和Windows®


      機型 G1 (基本版) G2 (全配版)
      描畫方式 圓形束斑, 矢量掃描, 步進重復移動方式
      加速電壓 100kV 100kV/50kV
      電流 5×10-12 ~ 2×10-7A
      寫場尺寸 最大1,000μm×1,000μm 最大2,000μm×2,000μm 
      掃描頻率 最大125MHz
      樣品臺移動范圍 190mm×170mm
      套刻精度 ≦±9nm
      場拼接精度 ≦±9nm
      正常工作時的功耗 3kVA
      樣品尺寸 最大200mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版及任意尺寸的的微小樣品。
      材料傳送 (1張)自動裝載系統 (12張)自動裝載系統
      主要選配件 光學顯微鏡
        25kV加速電壓 
        數據準備程序的追加授權

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