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      日立 H-9500 透射電子顯微鏡

      名稱:光學測試儀器

      品牌:

      型號:

      簡介:原子分辨率300kV透射電子顯微鏡在精細加工技術已進入到亞納米級水平的半導體,先進材料的研發領域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求,日立高新技術公司研發出了H -9500透射電子顯微鏡,此款高分辨...

      • 產品介紹

      原子分辨率300kV透射電子顯微鏡在精細加工技術已進入到亞納米級水平的半導體,先進材料的研發領域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求,日立高新技術公司研發出了H -9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種優秀性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨特功能,并采用了最新的數字技術,便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結構信息。

      原子分辨率300kV透射電子顯微鏡
      在精細加工技術已進入到亞納米級水平的半導體,先進材料的研發領域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求,日立高新技術公司研發出了H -9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種優秀性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨特功能,并采用了最新的數字技術,便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結構信息。
      備注:FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。
      (*):Windows®是微軟公司在美國及其他國家所注冊的商標。


      分辨率 0.10nm(晶格分辨率)
      0.18nm(點分辨率)
      加速電壓 300kV, 200kV(*1), 100kV(*1)
      放大倍率 連續放大模式 1,000 - 1,500,000×
      選區模式 4,000 - 500,000×
      低倍模式 200 - 500×
      電子槍 燈絲 LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱)
      燈絲交換 自動升降式電子槍
      高壓電纜 阻抗電纜
      照射系統 透鏡 四級透鏡
      聚光鏡光闌 4孔可變
      探針尺寸 微米束模式:0.05 - 0.2µm(4級)
      納米束模式:1 - 10nm(4級)
      電子束傾斜 ±3°
      成像系統 透鏡 五級透鏡
      聚焦 圖像搖擺調整
      利用像散監視器進行正焦補償
      聚焦優化
      物鏡光闌 4孔可變光闌
      選區光闌 4孔可變光闌
      電子衍射   選區電子衍射
      納米探針電子衍射
      會聚束電子衍射
      相機長度 250 - 3,000mm
      樣品室 樣品臺 5軸優中心海帕測角臺
      樣品尺寸 3mmΦ
      樣品位置追蹤 X/Y = ±1mm, Z = ±0.3mm
      通過CPU控制馬達驅動
      樣品位置顯示 自動驅動,自動跟蹤
      樣品傾斜 α = ±15°, β = ±15°
      (日立雙傾樣品臺(*2)
      防污染 冷阱
      烘烤功能 中溫烘烤功能
      觀察室 熒光屏 主屏:110mmΦ
      聚焦屏:30mmΦ
      目鏡 7.5×
      照相室 區域選擇 整張照相/半張曝光
      膠片 25張(2套膠片盒)
      圖形用戶界面   操作系統:Windows XP®(*3)
      顯示器 19英寸顯示器
      功能 數據庫,測量,圖像處理
      數碼CCD 相機(*4) 相機耦合 透鏡耦合
      有效像素 1,024 × 1,024 像素
      A/D 分辨率 12 位
      真空系統 電子槍 離子泵:60L/s
      鏡筒 渦輪分子泵:260L/s
      觀察室/照相室 擴散泵:280L/s
      前級泵:135L/min × 3 臺

      (*1):放大倍率校準為可選項
      (*2):可選件
      (*3):Windows XP是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標
      (*4):本規格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數碼CCD相機
      以上規格是在加速電壓為300kV時的承諾

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