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      艾克賽普自動上下料傳送系統

      產品簡介:

      艾克賽普光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統 Model 3775 主要特色: 低破片率 高產量 機器人傳送取放 表面檢查:選配 上貨載具:石英晶舟 下貨載具:Manz盒 / Cassette(選項) 通常用于芯片磷擴散的爐管制程。在擴散制程中致茂可提供客戶使用短版的晶舟, 或長版晶舟來...

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      詳細介紹
      艾克賽普光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統 Model 3775
      主要特色:
      低破片率
      高產量
      機器人傳送取放
      表面檢查:選配
      上貨載具:石英晶舟
      下貨載具:Manz盒 / Cassette(選項)
        通常用于芯片磷擴散的爐管制程。在擴散制程中致茂可提供客戶使用短版的晶舟, 或長版晶舟來上下載具的傳輸設備。芯片的傳送使用高速富撓性的取放機器人。致茂在擴散過程中提供的載具傳輸設備,低破片率,高產量和低成本可滿足客戶的擴散制程功能要求。
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